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中頻電源裝置的主電路采用晶閘管半導體器件，這類器件承受過電壓，過電流的能力很差，而中頻電源的運行情況比較復雜，負載變化劇烈，出現短路，開路，過電壓，過電流的幾率較高，必須采取妥善保護措施，以確保裝置安全運行。
晶閘管中頻電源的過流過壓保護，一種是在適當的地方安裝保護器件如在工頻電源進線側安裝RC吸收電路，用以抑制由外電路涌入中頻電源的雷擊過電壓和操作過電壓，在晶閘管上串接快速熔短器用以保護過電流對晶閘管的損壞，另一種是檢測中頻電源的輸出電壓和輸入電流，當電壓或電流超過允許值時 借助整流觸發控制系統使整流橋工作于有源逆變狀態，或封鎖整流輸出脈沖使整流橋輸出電壓為零。